Magnetron Plasma Sputtering Coater for semiconductor materials PVD magnetron sputtering equipment plasma sputtering machine

Compact Structure

Input Power

220VAC 50/60Hz, single phase

2000W  (including pump)

Source Power

 The power source is optional with single DC power source, single RF power source or both DC and RF power source. (Please select it in the option bar)

DC source: 500W for coating metallic materials ( below left)

Compact 300 RF source for non-conductive materials ( Below right)

Magnetron Sputtering  Head

Three  2" Magnetron Sputtering  Heads with water cooling jackets are included ( click picture-left to see detailed specs ) to connect optional power source

 Head Water Cooling: 10ml/min water flow required

Vacuum Chamber

Vacuum Chamber: 300 mm Dia x 300 mm height, made of stainless steel

Observation Window:  100 mm diameter

Hinged type cover on top with air spring sport makes target exchange easy

Sample Holder

Sample holder size: 140mm dia. for. 4" wafer max

Sample holder rotation speed is adjustable: 1 - 20 rpm for uniform coating

The holder temperature is adjustable from RT to 500°C Max with accuracy +/- 1.0 °C

Gas Flow Control

Two precision digital MFC (mass flow controller) are installed to allow two types of gases to be filled in

Flow rate:  200 ml/min max.

Flow rate is adjustable on the 6" touch screen control panel

Vacuum Pump Station

1.High speed turbo vacuum pump system (made in Germany) is directly installed on the 

vacuum chamber for max. vacuum level 

2.Heavy duty dual stage mechanical pump is connected to turbo pump for faster pump 

speed

3.Mobile pump station is included and the compact sputtering coater can be put on top of station

4.Max. vacuum level: 10^-6 torr with chamber baking

Thickness Monitor

1.One Precision quartz thickness sensor is built into the chamber to monitor coating thickness

 with accuracy 0.10 Å 

1. 2. LED Display Unit outside chamber can:

Input material to be coated according to data base included

Display total thickness coated and coating speed

3.5 pcs quartz sensors (consumable) are included 

4.Water cooling is required

Overall Dimensions

L1300mm× W660mm× H1200mm

Net Weight

160 kg

Warranty

One years limited warranty with lifetime support