Compact Magnetron Plasma Sputtering Coater with substrate heater lab PVD machine

Input Voltage

110/220VAC switchable

Output Power

1600VDC

250W

150mA max.

Built-in over current (>150mA) protection

Specimen chamber

Quartz glass tube, 167mm OD. x 152mm ID x 260mm Height

Sputtering Head 

&

Specimen stage

2“ magnetron sputtering head with water cooling jaket  is included ( click PIC below-left to see specs )

One 50 mm Dia  stainless steel .sample stage is built in, which is rotable from 0 - 5 RPM 

One manually operated shutter is build in to achieve better coating ( click PIC below -right to see detail )

Built in a fixture to place sputtering head when open chamber

Distance between sputtering head and sample stage is adjustable from 60 - 100 mm.

One Air Cold Recirculating Water Chiller  10L / min Flow is included for cooling sputtering head.

Control Panel

6" color  touch-screen control panel with PLC integration for easy operation

One panel controls all parameters, including vacuum, current, target position and substrate heating temperature

Ultimate Vacuum Pressure

Built in KF25 vacuum port

The system requires a Ar gas tank with pressure regulator, which is not included

<10E-2 mbar by vane vacuum pump (not included) for Au, Ag, Pt, Cu, Mo targets (not sensitive to air)

7.5E-5 mbar by Turbo molecular pump (not included) for Al, Mg, Li, Lr, Ti, Zn targets (sensitive to air)

Gas Atmosphere

One needle valve installed to allow Ar gas inlet to achieve better plasma coating

The system requires an Ar gas tank with pressure regulator which is not included

Target

Target size: 50 mm dia. x (0.1 - 3) mm,thickness

One 2"  Aluminium target  is included

Also can coat Ag, Al, Cr, Ni, Pt, Ti, Sn, Mg, etc.  These targets are available upon request.

Aluminum Target Recommend Coating Method

Optional Film Thickness Monitor

Film thickness monitor is optional at extra cost ( click PIC below-left to see specsand order )

Heatable sample stage upto 500oC  is available upon request at extra cost

Overall Dimensions

( L 440mm×W 330mm × H 290mm without sputtering head )

Warranty & Certificate

One year limited with lifetime support

CE certified