Compact Vacuum Carbon & Metal Evaporating Coater sputtering coater for single Si

Input Voltage

AC110V 60Hz and AC220V 50Hz selectable in option bar

Input Power

< 1000 W

Output Power

10VAC and 50A Max.

Specimen chamber

Fused glass tube, 160 mm Dia. x 110mm Height

Specimen stage

• One 50 mm Dia.sample stage, 
• Max. coating area: 45 mm dia
• Evaporating fixture 3 tungsten heaters are included
• 
• 

Tungsten Heater 

• 3 pcs tungsten heating coils, a carbon fiber string (3 ft long) 
• for use as the source of carbon evaporation, and spare fuses are included. 
• Extra spare tungsten heater is available 
• If you need other evaporation materials, please contact use, we may supply
•  or recommend a source for you
• 

Optional

• KF25 port is built in the coater to connect a vacuum pump. 
• Vacuum pump is required for coating ( not included ). Please click Pic below to choose 
• o o Double Stage Rotary Vane Vacuum Pump with Vapor trap eliminates the oil mist, 
• o which can reach vacuum upto 10-2 torr for evaporating noble metallic materials , such as Gold, silver
• o o Compact Turbo-molecular Vacuum Pump System (up to 1E-7 mbar) is able to provide vacuum level up to 1.05 x 10^-5 for 
• o evaporating oxygen sensitive materials, such as Al. Mg, Li etc

Overall dimension

L360mm x W300mm x H380mm

Application Notes

• For long term usage, working current should be kept below 40A
• For evaporating materials with low vapor rate, 30A working current is good enough
• Please view "Nat_Nano_Interconnected hollow carbon nanospheres" 
• published by nature, July, 27, 2014, in which the carbon evaporator 
• was referred for making the thin carbon nanosphere layers in Cu substrate. 

Net Weight

50 kg

Warranty & Certificate

One year limited with lifetime support

CE certified