500C Vacuum Lamination Press Machine for wafer bounding or thin film transformations

Structure 

Two 135 x 135 mm flat heating platens made of high temperature resistant Cr steel with 

max. working temperature of 500ºC

1000W Heating element is inserted into the center of the heating plates for fast heating

Max. Load on 135x135mm Heated Platen:

10 Metric Tons at 500°C ( 55 kg/cm2 )

20 Metric Tons at RT ( 110 kg/cm2 )

Two precision temperature controllers which control two heating plates separately with 

30 programmable segements 

Water cooling jackets are built on the both top & bottom of the heating plates for assisting cooling

Hydraulic Pump

Modified electric hydraulic press is connected to vacuum chamber.

Movable distance between two heating plates: 15 mm

Automatic max. pressure controlled via a digital pressure gauge. 

Pressure accuracy: +/-0.01 Mpa ( 0.1 kg/cm²)

Two flat heating plates are installed with water cooling plates for Max. 500ºC working temperature

Water cooling (>15L/min) is required to cool the heating plates when the operating temperature is

 over 200 ºC. 

Temperature control 

and Pressure Display

Two precision temperature controllers with 30 programmable segments control the heating plates

separately with +/1°C accuracy. 

The temperature controllers have PID auto tune function, over-temperature protection and thermal 

couple broken protection

Max. Temperature: 500°C with inert gas or vacuum with accuracy +/-1°C

Max. Heating rate: 2.5°C/min

Software and PC interface is built in the controller , which can be connected to a 

PC for computer controlling via a RS232 connector 

Digital pressure meter ( controller ) is built outside the vacuum chamber. 

You can set pressure at the desired value which can stop the electric hydraulic press automatically 

Vacuum Charmber

Electric hydraulic press and heating plates are placed inside the vacuum chamber

Vacuum chamber is made of SS304 with the size: 525Lx480Wx450H (mm)

Vacuum chamber Capacity : about 75 Liters. 

300mm dia. vacuum sealed hinged type door with 150mm Dia. quartz glass

 window is installed for easy sample loading and observation

Silicone O-ring can be used for all vacuum sealings 

One precision digital vacuum guage ( 10E-4 torr ) is installed on the vacuum chamber 

Power Requirement

Power consuming: 2500 W

Power input: 208 - 240V AC, 50/60 Hz single phase

Water cooling

One recirculating water chiller is included for cooling heating plate from over-heated and faster cooling.