1600C Three Zones Tube Furnace with High Vacuum Station + 3 Channel MFC Gas Station for CVD system

1600X-III series tube furnace

Casing

Double layer steel casing with air cooling.Built in thermostat to

 control Cooling 

running automatically when case > 55C.

Processing Tube

Material: 99.8 high purity alumina

Thermal Block Placement

2 pieces 

Power

7KW

Rated Voltage

AC 208-240V Single phase, 50/60Hz

Heating Element

MoSi2 Heating element

Working Temp.

Max. Heating Temp.: 1200CContinuous Working Temp.: 1500C

Heat-up Rate 

Heat-up rate: 1~15C/min programmable

Heating Zone Length

Total heating zone:600mm (220mm + 200mm + 200mm)

This is customized.

Temp. Controller

Three precision temperature controllers to control three zones separately.

PID automatic control with 30 steps programmable segments.

Temperature accuracy: 1C

Thermocouple:B type built inside the furnace

Vacuum Seal

One pair of stainless steel vacuum flange with:- one mechanical 

pressure gauge- two needle valves - one KF-40 connector for the high 

vacuum station.

Rated Voltage

AC 208-240V Single Phase, 50/60Hz

Dimension

1100(L) x 450(W) x 670(H), mm

High Vacuum Station

Structure

Mobile cart size: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm

Max. Loading: 600 Lbs on top

Molecular pump control Panel : LCD digital display

Working Range

From 1000 mbar to <1E-7 mbar

Ultimate Pressure

<1E-8 mbar (without any leaking )

Voltage & Power

110VAC or 220VAC, 110W

Mass Flow Gas Control

Structure

3 channel MFC Made of 316 stainless steel with gas flow range as below:

Controller : 0~500SCCM

3 Channel gas go through a Gas mixing tank: Dia 80X120mm 

Dimension: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm

Power

18W

Rated Voltage

AC 208-240V, Single phase, 50/60Hz