Compact Auto-Sliding PECVD Tube Furnace with 2"OD Quartz tube and vacuum pump, Max.1200C / PECVD tube furnace

Auto-Sliding Split Tube furnace

Input power: 208 – 240V AC, 1.2kW

1200°C Max. working temperature for < 60 minutes

1100°C Max for continuous heating

High purity quartz tube 2"OD x 1.7"ID x 39.4" Length 

30 segments programmable precision digital temperature controller

8" (200mm), single zone. 2.3" (60mm) (+/-1°C) @ 1000°C

Plasma RF Generator

Output Power: 5 -300W adjustable with ± 1% stability

RF frequency: 13.56 MHz ±0.005% stability

Reflection Power: 200W max.

Matching: Automatic

RF Output Port: 50 Ω, N-type, female

Noise: <50 dB. 

Cooling: Air cooling. (water cooling is available upon request, and a water chiller 

can be ordered seperately)

Power : 208-240VAC, 50/60Hz

Noe: Water cooling is necessary for long time operation

Vacuum Flanges and Fittings

Vacuum flange set is made of stainless steel 304.

Left flange assembly includes a KF-25 vacuum port, two KF-25 quick clamps, 

a KF-25 right angle valve, a KF-25 vacuum bellows, a flange support, 

3/8 O.D barbed fitting, and a needle valve.

Right flange assembly includes a digital pirani gauge, 1/4 O.D tube fitting,

 1/4" feedthrough, a needle valve and a KF-16 quick clamp set

Vacuum Pump 

208 - 240V / 50-60 Hz (750W Max.)

220 liters / M or 7.8 CFM

Oil Mist Eliminator is included

Max. vacuum: 3 X 10E-3 torr

Product Dimensions 

Overall Dimensions: 1500mm x 600mm x 1200mm (all system, L x W x H)

Net weight: 350 lbs

Shipping weight: 480 lbs

Oxygen Monitoring (Optional)

An Oxygen Sensor can be used to monitor the oxygen level of gas(es) used in CVD systems for preventing 

or reducing oxidation. 

Warranty 

One year limited warranty