liquid heating or evaporating deliver system for lab scale CVD furnace / LVD

Product 

  Compact Liquid Heating or Vaporization Systems

Power Input 

208 - 240VAC, single phase, 50/60Hz ( standard )

1000 W Power consumption

110V is available with a transformer

Liquid Flow Control

Precision digital control with +/- 0.01% FS accuracy

Flow rate arrange : 0 - 80 ml/minute adjustable ( min. rate: 0.1 ml/min )

Liquid can be soaked from a container ( not included ) automatically. 

Heater &

 Temperature controller 

Liquid and carrying gas are go through a SS316 coil, which is heated by a built in 

small furnace upto 250oC

One heating tape ( 18mm W x 1000mm L) is included to prevent output vapor from 

condensing on tube or flange ( max. temperature 150oC)

Two 30 segment programmable Digital temperature controllers with +/- 1 CC accuracy are built in to control gas heater and heating tape separately

Gas flow control

carrying gas is controlled by a precision flow-meter

Gas flow rate: 0 - 2000 ml/minute adjustable 

Pressure gauge built in front panel 

Two SS needle valves are installed to control gas in and out 

Vapor Gas outlet tube size: 1/4"OD SS316

Optional: Digital Mass Flow Control is available upon request at extra cost

Note: 1/4'' PTFE tube, 1/4'' SS tube and beaker are not included, customers need to prepared 

them according to your own experimental needs.

Oxygen Monitoring

An Oxygen Sensor can be used to monitor the oxygen level of gas(es) used in CVD 

systems for preventing or reducing oxidation. 

Application note 

This system can fit with all tube furnace and CVD furnace

Dimension & Weight

Heater & Gas Control Unit: 350L x 335W" x 300H, mm

Net weight: 5 Kg

Warranty

One year limited and extended warranty available upon request