AMAT 0010-23716 RTP-Pyrometer

Das AMAT 0010-23716 RTP-Pyrometer ist ein Kern-Temperaturmessger?t, das ausschlie?lich von Applied Materials für Hochpr?zisions-Hochtemperaturprozess-Szenarien wie die Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Mit Infrarotstrahlung oder Spektralanalyse-Technologie als Kern nutzt es eine berührungslose Messmethode, um St?rungen an empfindlichen Messobjekten wie Wafern zu vermeiden. Als Schlüsselkomponente der AMAT PMAX-Thermoprozess-Produktlinie ist es nicht nur mit der PMAX-Serie von Thermoprozessausrüstungen kompatibel und arbeitet in Synergie mit PMAX-Emittern, Prozesskammern usw., um eine Echtzeit-Temperaturüberwachung und -steuerung in Hochtemperaturprozessen zu realisieren, sondern spielt auch aufgrund seiner Eigenschaften wie hoher Pr?zision, schneller Reaktionszeit, Hochtemperaturbest?ndigkeit und hoher Zuverl?ssigkeit eine unverzichtbare Rolle bei der Gew?hrleistung der Prozesswiederholbarkeit, Produktkonsistenz und stabilen Ausrüstungsfunktion in Kernprozessen der Halbleiterchipherstellung (einschlie?lich thermischer Oxidation, Diffusion, Abscheidung usw.), sowie in Bereichen wie der Flachbildschirmherstellung, der Mikroelektronik und der Nanotechnologie-Forschung.

• Eingangsspannung: 115V AC oder 230V AC

• Ausgangsbereich: Einstellbar

• Material: Es werden hochwertige Materialien verwendet, um hohe Pr?zision und Stabilit?t zu gew?hrleisten

• Hohe Pr?zision: In der Lage, genaue Temperaturmessungen in extremen Hochtemperaturumgebungen bereitzustellen und die Hochpr?zisions-Temperatursteuerungsanforderungen der Halbleiterherstellung zu erfüllen.

• Schnelle Reaktionszeit: Zeichnet sich durch eine schnelle Reaktionsgeschwindigkeit aus, was eine Echtzeitüberwachung von Temperatur?nderungen und eine rechtzeitige Rückmeldung an das Steuersystem erm?glicht.

• Hochtemperaturbest?ndigkeit: Für Hochtemperaturumgebungen ausgelegt mit ausgezeichneter Hochtemperaturbest?ndigkeit.

• Hohe Zuverl?ssigkeit: Nutzt hochwertige Komponenten, um einen langfristig stabilen Betrieb zu gew?hrleisten.

• Berührungslose Temperaturmessung: Basierend auf Infrarotstrahlung oder Spektralanalyse erm?glicht es die berührungslose Messung der Temperaturverteilung w?hrend der thermischen Verarbeitung von Halbleiterwafern.

• Mehrzonige Temperaturverteilungsüberwachung: Unterstützt die Echtzeitrückmeldung von Prozessparametern, bietet Datenunterstützung für die Prozesssteuerung und gew?hrleistet die Prozesswiederholbarkeit und Produktkonsistenz.

• Hilfsausrüstungsfehlerdiagnose: Unterstützt die Diagnose von Ausrüstungsfehlern durch Echtzeit-Temperaturüberwachung und verringert das Risiko von Prozessabweichungen.

• Halbleiterherstellung: Weit verbreitet in Kernprozessen der Halbleiterchipherstellung wie thermische Oxidation, Diffusion und Abscheidung; spielt eine Schlüsselrolle in der Herstellung von integrierten Schaltungen, der Herstellung von Photovoltaikzellen und anderen verwandten Bereichen.

• Andere Industriezweige: Auch auf andere Industriezweige anwendbar, die Hochtemperaturmessungen erfordern, wie die Materialwissenschaftsforschung.

• Temperaturbereich: Abdeckt Hochtemperaturprozesse, die von der PMAX-Ausrüstung unterstützt werden (z.B. 500°C - 1200°C); der genaue Bereich ist den Ausrüstungsspezifikationen zu entnehmen.

• Genauigkeit: ±1% (typischer Wert, abh?ngig von der Kalibrierung)

• Schnittstelle: Unterstützt die Hochgeschwindigkeitsdatenübertragung und die Interaktion von Steuersignalen mit dem PMAX-System.

• Kalibrierung: Erm?glicht die In-situ-Kalibrierung oder die Offline-Kalibrierung, um die langfristige Messgenauigkeit zu gew?hrleisten.