Magnetron Plasma Sputtering Coater for semiconductor experiments

Compact Structure

Input Power

220VAC 50/60Hz, single phase

2000W  (including pump)

Source Power

Two sputtering power sources are integrated into one control box 

DC source: 500W for coating metallic materials ( below left)

RF source: 600W with automatching for coating non-metallic materials ( Center)

Compact 300 RF source is available at extra cost ( Below right)

Magnetron Sputtering  Head

Two 2" Magnetron Sputtering  Heads with water cooling jackets are included

1)One is connected to RF power supply for no-conductive materials

2)Another is connected to DC sputtering power source for coating metallic materials

Target size requirement: 2" diameter

1)1/16" max. thickness for metallic targets

2)1/4" max. thickness for no-conductive targets

3)One stainless steel and one Al2O3 ceramic targets are included for demo testing

Head Water Cooling: 10ml/min water flow required, and one 16ml/min digitally controlled recirculating water 

chiller is included for cooling both magnetron sputtering heads

Vacuum Chamber

Vacuum Chamber: 300 mm Dia x 300 mm height, made of stainless steel

Observation Window:  100 mm diameter

Hinged type cover on top with air spring sport makes target exchange easy

Sample Holder

Sample holder size: 140mm dia. for. 4" wafer max

Sample holder rotation speed is adjustable: 1 - 20 rpm for uniform coating

The holder temperature is adjustable from RT to 500°C Max with accuracy +/- 1.0 °C

Gas Flow Control

Two precision digital MFC (mass flow controller) are installed to allow two types of gases to be filled in

Flow rate:  200 ml/min max.

Flow rate is adjustable on the 6" touch screen control panel

Vacuum Pump Station

High speed turbo vacuum pump system (made in Germany) is directly installed on the vacuum chamber for max. vacuum level

Heavy duty dual stage mechanical pump is connected to turbo pump for faster pump speed

Mobile pump station is included and the compact sputtering coater can be put on top of station

Max. vacuum level: 10^-6 torr with chamber baking

Thickness Monitor

One Precision quartz thickness sensor is built into the chamber to monitor coating thickness with accuracy 0.10 Å  

LED Display Unit outside chamber can:

1)Input material to be coated according to data base included

2)Display total thickness coated and coating speed

5 pcs quartz sensors (consumable) are included 

Water cooling is required

Overall Dimensions

L1300mm× W660mm× H1200mm