Single zone high vacuum tube furnace silicon carbide tube furnace

Furnace

Furnace structure

Double layer steel casing with air cooling. Two cooling fan inside to keep  case temperature < 55°C

Tube Materials

99.8% High purity Al2O3 Ceramic

Tube Size

80mm O.D Alumina tube  ---------- ID: 72mm; OD: 80 mm in diameter  x 1000 mm length

100mm O.D Alumina tube --------- ID: 101.6mm x OD: 92 mm x 1000 mm length.

Refractory lining

1750 grade fiber alumina cast

Heating element

1700 grade MoSi2 

Working Temperature

1700°C (2912°F) Max.  <1hr

1600°C continuously

Normal Working Temperature

800 -1700°C (2732°F)

Temperature Controller

PID automatic control via SCR (Silicon Controlled Rectifier) power control, e.g. current limiting phase angle fired the resistor with 51 steps programmable

Max. Heating / Cooling Rate

5°C / min above 1200°C and 10°C/min below 1200°C

Heating Zone

457 mm (18")

Constant Temperature Zone  

150 mm (6")  (+/- 1°C at 1600°C  )

Temperature Accuracy

+/- 1°C

Power Input

Single Phase, 220V AC, 50/60 Hz

Power Output

Max. 5KW

High Vacuum Station

Structure

Mobile cart size:  600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm

Max. Loading:       600 Lbs on top

Molecular pump control Panel :   LCD digital

Inside:   Pfeiffer vacuum pump  made in Germany

Vacuum sensor is included

Vacuum sensor

Two vacuum gauges are installed in this system.

1. Mechanical vacuum gauge

2. High vacuum gauge (measuring range 10^-8 mbar ~ 10^3 mbar) is installed in the whole high vacuum system for monitoring the high vacuum status when operating the furnace with HV station support.

Control Panel

One button operation - the diaphragm pump and the turbo molecular pump will start after pressing "start" button.

System controlled spinning speed - the controller will control the speed of the turbine spinning up and down according to the vacuum level and leaking rate of the reaction chamber.

Self protection - the system will protect the pump from damage by overheating and over-current if the leaking rate of the reaction chamber is too high to achieve high vacuum. 

LCD screen - double lines parameters checking interface make the working easier to be handled.

Volume Flow Rate

Nitrogen   N2     33 L/s

Helium      He     39 L/s   (2340L/minute)

Hydrogen H2   32 L/s

Working Range

From 1000 mbar to <1E-6 mbar (under Cold Condition only; Noted: Please don't use high vacuum if the temperature is over 1500 °C)

Ultimate Pressure

<1E-8 mbar (without any leaking)

Power Input

110V AC or 220V AC switchable, 50/60Hz

Power consumption

Duration/Max power: 100/110Watt

Shipping Info

Product Dimension

Tube Furnace: 550 L x 450 W x 670 H  mm (21.7" L x 17.7" W x 26.4" H) 

Mobile bench with vacuum system: 600 x 600 x 700mm

Net  Weight

Furnace: 150 kg (330 lbs)

Mobile bench with vacuum system: 50 lbs

Warranty

One year limited warranty