Применение:Высокоочищенные вольфрамовые мишени, высокоочищенные мишени из вольфрам-титанового сплава и композитные мишени вольфрам-кремний обычно применяются в магнетронном распылении для производства различных сложных и высокопроизводительных тонкопленочных материалов. Поскольку высокоочищенный вольфрам или сверхочищенный вольфрам (5 N или 6 N) обладают высокой стойкостью к электронной миграции, высокой термостабильностью и способностью образовывать стабильные силициды, они часто используются в электронной промышленности в качестве тонких пленок в качестве затвора, соединения, перехода и барьерного металла. Сверхвысокоочищенный вольфрам и его силициды также используются в сверхбольших интегральных схемах в качестве слоев сопротивления, диффузионных барьеров и т. д., а также в качестве материалов затвора и соединения в транзисторах на основе металл-оксид-полупроводник. Мишени для магнетронного распыления из вольфрам-титанового сплава часто используются для изготовления переходных металлических слоев тонкопленочных солнечных батарей.
Получить источник сейчас
