R-PLANE (1-102) САФИРОВЫЕ ПЛАТЫ

R-плоскостная сапфир?пластинки предпочтительны для гетероэпитаксиального осаждения кремния, используемого в микроэлектронных интегральных схемах. R-плоскость является неполярной плоскостью сапфира. Таким образом, в зависимости от различных положений R-плоскости в сапфировых устройствах механические, термические, электрические и оптические свойства сапфировых устройств будут сильно различаться, что также повлияет на последующие технологические характеристики, производительность и выход годных сапфировых устройств.

?

Для обеспечения совпадения кристаллической структуры сапфирового слитка и последующих сапфировых изделий более распространенным методом является обработка поверхности в направлении A на сапфировом слитке в качестве плоскости ориентации полировки сапфировой пластины (последующие продукты из сапфира), чтобы позиция по направлению R ингота сапфира и пластины были одинаковыми.

Технические характеристики пластины сапфира R-плоскости (1-102)

Толщина

430 мкм +/- 25 мкм

Основное направление плоскости

45 +/- 1 градус против часовой стрелки от проекции оси C на плоскость R

Длина основной плоскости

16.0 мм +/- 1.0 мм

Односторонняя полировка

Передняя поверхность

Эпи-полировка, Ra <0.5 нм (по методу АФМ)

(ОСП)

Задняя поверхность

Шлифована, Ra = 0.8 мкм - 1.2 мкм

Двусторонняя полировка

Передняя поверхность

Эпи-полир, Ra <0,5 нм (по методу АФМ)

(DSP)

Задняя поверхность

Эпи-полир, Ra <0,5 нм (по методу АФМ)

TTV

<10 мкм

BOW

<10 мкм

WARP

<10 мкм

Чистка / Упаковка

Чистка в чистой комнате класса 100 и вакуумная упаковка,

25 штук в кассете упаковки или упаковка поштучно.

?

Примечание: Мы можем предоставить пользовательские сапфировые пластины любой ориентации и любой толщины.

?

CRYSCORE OPTOELECTRONIC LIMITED является профессиональным производителем высококачественных сапфировых пластин и оптических окон с 2008 года. Мы предлагаем оптический сапфир,?сапфировую штангу, сапфировый слиток?и др. Хотите узнать больше? Пожалуйста, свяжитесь с нами.

?