Система CVD

Длина зоны

Нагрев: 440 мм ??Постоянная: 200 мм

?

Температурный регулятор

*30 программируемых сегментов для точного контроля скорости нагрева, скорости охлаждения и времени выдержки.

*Встроенная функция автоматической настройки PID с защитой от перегрева, защиты от разрыва термопары и защитой от перегрева с сигнализацией, что позволяет работать без присутствия оператора.

Точность

±1℃

Рекомендуемая скорость нагрева

15℃/мин

Стандартные комплектующие

Кварцевая трубка 1 шт., герметизирующий фланец из нержавеющей стали 1 комплект, силиконовый уплотнительный кольцо 2 комплекта, перчатки для работы при высокой температуре 1 пара, кварцевый блок 1 шт.

Система газоснабжения 3 канала MFC, GMF-3Z?????

Тип соединителя

Соединитель из нержавеющей стали с двойной заглушкой

Стандартный диапазон (N2)

50 ссм/мин.100 ссм/мин.200 ссм/мин (опционально)

Точность

±1,5% ФС

Линейность

±0,5-1,5%

Диапазон рабочего давления

0,1-0,5 МПа

Максимальное давление

3 МПа

Соединитель

Φ6,1/4''

Дисплей

ЖК-тактильный экран, 3 цифры на дисплее

Рабочая температура окружающей среды

5~45, высокочистый газ

Манометр вакуумно-давления

-0,1~0,15 МПа(0,01 МПа/ячейка)

Inter&exter Parabolic ss pipe

Φ6

Низковакуумный блок.Vau-02

Относительная влажность воздуха

≤85%

Рабочее напряжение

220В±10% 50~60Гц

Скорость выпуска воздуха

8м3/ч

Экспериментальное вакуумное состояние

1.0X10-1Па

Объем масла

1.1 л

Диаметр входного/выходного отверстия

KF25

Частота вращения

1450 об/мин

Шум

50 дБ

?