Китайская DLC PACVD вакуумная нанесения покрытий машина

Оборудование для вакуумного нанесения покрытий из алмазоподобного углерода (DLC)

?

Применение:

Пленки DLC широко используются в машиностроении, штамповке, резаных инструментах, автомобилестроении, электронике, оптике, биомедицине, аэрокосмической отрасли, защитно-декоративной сфере, например, на корпусах часов, ювелирных украшениях, корпусах мобильных телефонов и т.д. Они проявляют лучшие характеристики в механике, триботехнике, биологии, электронике, оптике, термике и акустике.

?

Описание:

Алмазоподобный углерод (DLC) - это метастабильный аморфный материал. Его механические, электрические, оптические и триботехнические свойства схожи с свойствами алмаза. Теплопроводность составляет в 2-3 раза больше, чем у меди. Он характеризуется высокой прозрачностью, хорошей химической стабильностью, максимальной твердостью, лучшей износостойкостью, отличной химической инертностью, низким диэлектрическим постоянным, широкой оптической запрещенной зоной и хорошей биосовместимостью.

DLC-фильм представляет собой изолирующий аморфный углеродный слой с твердостью до 20% твердости природного алмаза.

применение

DLC-фильмы являются идеальным сочетанием высокой твердости, низкого коэффициента трения, износостойкости, устойчивости к царапинам, коррозионной стойкости, антиадгезионных свойств, химической стабильности и т.д. Они обладают наилучшими характеристиками в механике, триботехнике, биологии, электронике, оптике, термонике и акустике и могут быть широко использованы в машиностроении, производстве штампов, изготовлении режущего инструмента, автомобилестроении, электронике, оптике, биомедицине, аэрокосмической промышленности, защитно-декоративной сфере, например, на корпусах часов, ювелирных аксессуарах, корпусах мобильных телефонов и т.д.

?

Характеристики:

DLC-фильм обладает характеристиками высокой твердости и модуля упругости. Твердость DLC-фильмов, полученных различными методами осаждения, сильно различается. В частности, твердость DLC-пленок, полученных лазерным распылением или магнитной фильтрацией катодного дугового разряда, достигает 70-110 ГПа, что аналогично твердости алмаза. Соотношение sp3/sp2 и содержание водорода различаются в зависимости от методов приготовления или параметров процесса осаждения и компонентов, что также влияет на механические свойства пленки.

?

Параметры:

Спuttering - оставлять следы, разбрызгивание (в физике - распыление)

1.9 - 2.4

25

11 - 24

140

0.1 - 0.15

a - C:H:M

Реактивное распыление

1.9 - 2.4

10 - 20

100 - 200

0.1 - 0.2

a - C:H

RF плазма (СВЧ-плазма)

1.57 - 1.7

16 - 40

145

0.02-0.47

Ta-C

Магнитный фильтр

2.8-3.0

85-95

40-80

500

0.04-0.14

Ta-C

PLD

2.4

85-95

40-80

200-500

0.03-0.15

Наноалмаз

PLD

2.9 - 3.5

75

80 - 100

300 - 400

Общие DLC-пленки: a-C, a-C:H:M, a-C:H, ta-C80