Обратные шлифовальные круги для тонкирования кремниевых пластиков

Качество поверхности: требуется равномерность шлифовочных линий, отсутствие отколов, обломков, насечек и т. д.;

Точность обработки: TTV < 5 мкм и т. д. (Общая точность тонкивания)

Качество обработки: шероховатость поверхности: < 10 нм; толщина поврежденного слоя: < 10 мкм

ДЕТАЛИ ПРОДУКТА

Описание:

Кремниевые шлифовальные круги используются главным образом для доводки кремниевых пластиков. Эти продукты, произведенные в нашем институте, обладают превосходными шлифовальными характеристиками и высокой экономической эффективностью и находятся на мировом уровне.? ? ? ? ? ? ? ? ? ??

Применение:тонкое удаление материала с тыльной стороны, шлифование и тонкое шлифование сапфировых эпитаксиальных пластин, кремниевых пластиков, арсенида галлия и GaN-пластин.

Пригодные шлифовальные станки:

Задние шлифовальные диски могут использоваться для японских, немецких, американских, корейских и других шлифовальных станков. Например, для шлифовальных станков Okamoto, Disco, Strasbaugh и других.

Преимущества:

1. Качество поверхности: требуется равномерное распределение шлифовых линий, отсутствие отколов, обломков, царапин и т.д.;

2. Точность обработки: TTV < 5 мкм и т.д. (Общая точность тонкого шлифования)

3. Качество обработки: шероховатость поверхности: < 10 нм; толщина поврежденного слоя: < 10 мкм

ЧЕРТЕЖ И ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

?

?