OTF-1200X-RTP-II быстропарящая трубчатая печь

Краткое описание

Печь OTF-1200X-RTP-II с закрытым испарением (CSS) представляет собой трубчатую печь для быстрого испарения, специально разработанную для изготовления пленок методом PVD или CSS. Диаметр трубки печи составляет 11 ", в трубке печи на загрузочной диск для образцов можно разместить круглый подложку диаметром 3" или квадратную подложку размером 2 "x 2"; нагревательные элементы, состоящие из двух групп инфракрасных ламп, расположены соответственно сверху и снизу полости, скорость нагрева достигает 20 °C / с; оснащена системой управления температурой для управления программой PID30, точность управления температурой составляет + - 1 °C, а панель прибора имеет интерфейс RS485, если прибор оснащен программным обеспечением для управления температурой, то можно вывести программу температурного графика.

Особенности

1. Чтобы уменьшить тепловое излучение и достичь эффекта быстрого охлаждения, нагревательный элемент встроен в водяную охлаждающую систему.

2. Рядом с верхним нагревательным элементом установлен алюминиевый нитридный подложка (φ 76мм x 0,5мм), благодаря чему температура на образце более равномерна.

3, графитовая тигель 3 "можно поместить на дно нагревательного элемента, используемого для испарения материала.

4, вакуумный фланец герметизируется двумя силиконовыми кольцами O, через механический насос вакуум может достигать 10-2 Торр, через молекулярный насос вакуум может достигать 10-5 Торр.

Два, 5 Вакуумные фланцы могут двигаться вверх и вниз вручную.

6, цифровой вакуумметр установлен на вершине фланца, вы можете точно измерить степень вакуума внутри полости.

Технические параметры

1, источник питания: однофазный AC208 - 240В (нужен 20А воздушный выключатель)

2, вакуумная полость: кварцевая трубка высокой чистоты, наружный диаметр 280мм, внутренний диаметр 275мм, высота 229мм

3, нагревательные элементы: две группы ИК инфракрасных труб, номинальная мощность 800Вт, общая мощность 1600Вт

4, термопара: термопара типа S 2, установленные соответственно на верхнем и нижнем фланцах

5, рабочая температура: максимальная температура в двух нагревательных зонах при отдельной работе менее 650 °C, максимальная разность температур в двух нагревательных зонах меньше или равна 350 °C

6, скорость нагрева: >8 °C /с

7, скорость охлаждения: >10 °C /с (600 °C -100 °C)

8, вакуумный фланец: нержавеющая сталь 316, оснащен 1 интерфейсом KF-25, 2 штуками рукавных соединителей 1/4 дюйма

9, вакуумметр: цифровой дисплей вакуума

Уважаемый клиент:

Цены на товары, которые вы видите на нашем веб - сайте, являются только ориентировочными рыночными ценами. Мы можем дать фактическую цену в соответствии с конкретными требованиями клиента.