Четырех/трех/двухканальный газовый контрольный систем для системы печи CVD

Система смешанных газов HQ-Z контролируется одноканальным или многоканальным массовым расходомером для непрерывного подачи смешанных газов.

И позволяет осуществлять точное измерение и контроль массового расхода газа;

На каждом газовом трубопроводе установлено высоконапорное обратное клапанное устройство, что обеспечивает безопасность и надежность работы системы;

Имеет такие особенности, как равномерное смешивание газов, высокоточный контроль, цифровой дисплей, а также интуитивно понятные и чувствительные характеристики.

Высокоточный система массового расхода газа состоит из многоканального массового расходомера, расходного индикатора и т.д.,

Обеспечивает точное измерение и контроль расхода газа; обладает высокой точностью, быстрым откликом, чрезвычайно низким нулевым и температурным сдвигом, хорошей совместимостью и надежной герметичностью.

С помощью программного обеспечения поддерживается интерактивный интерфейс и простота эксплуатации.

Каждый газовый трубопровод оборудован высоконапорным обратным клапаном, чтобы обеспечить безопасность и надежность системы;

?

? Для точного контроля газового потока при спекании в атмосфере высокой температуры, восстановлении атмосферы и экспериментах CVD/CVI.

?

?

?

?

?