Масс-расходомер для системы контроля газа CVD / PECVD масс-расходомер

?

Система смешанных газов HQ-Z управляется одноканальным или многоканальным массовым расходомером для непрерывного подачи смешанных газов.

И обеспечивает точное измерение и контроль массового расхода газа;

На каждой газовой трубе установлен обратный клапан высокого давления, что обеспечивает безопасность и надежность работы системы;

Имеет такие характеристики, как равномерное смешивание газа, высокоточное управление, цифровой дисплей, интуитивно-понятный и чувствительный интерфейс.

?

Высоко точная система контроля массового расхода состоит из многоканального массового расходомера, индикатора расхода и т.д.,

Обеспечивает точное измерение и контроль расхода газа; обладает высокой точностью, быстрым откликом, чрезвычайно низким нулевым и температурным сдвигом, хорошей совместимостью и надежной герметичностью.

С помощью программного обеспечения поддерживается интерактивный интерфейс и удобство эксплуатации.

Каждый газопровод оснащен клапаном обратной заслонки высокого давления, чтобы обеспечить безопасность и надежность системы;

Для точного контроля газового потока при спекании в высокотемпературной атмосфере, восстановлении атмосферы и экспериментах CVD/CVI.

?

?

?

?

?