Система CVI-1200

Технические характеристики

Описание продукта:

Система CVI-1200 состоит из трубчатой печи высокой температуры, системы управления вакуумным давлением, системы защиты от перегрузки напряжения и конденсационной системы. Она позволяет проводить эксперименты по химическому осаждению из газовой фазы в смеси газов и диффузии. Максимальное достижимое вакуумное давление составляет 0,1 мбар.

Основные функции и особенности:

1. В процессе высокотемпературных экспериментов система может работать совместно с устройством управления давлением для обеспечения точного контроля отрицательного давления;

2. Цифровая система управления массовым потоком состоит из многоканального массового расходомера, индикатора потока и других компонентов. Она обеспечивает точное измерение и контроль газового потока; на каждой газовой трубе установлены высоконапорные обратные клапаны, чтобы обеспечить безопасность, непрерывность и равномерность защиты, снижения и замены атмосферного газа в кварцевой трубке.

3. Выхлопные летучие вещества осаждаются в конденсаторе при температуре минус 20 градусов Цельсия для последующего сбора и обработки.

4. Используется КФ быстросъемный фланец, что обеспечивает удобство загрузки и выгрузки; в трубопроводах применены самые современные в мире соединения Swagelok с клипсными кольцами, исключающие протечки.

5. При перегреве и перегрузке напряжения автоматически отключается нагревательная мощность и подача газа прекращается. Использование более безопасно и надежно.

Основные применения:

В университетах, научных институтах, промышленных и горнодобывающих предприятиях для проведения высокотемпературной атмосферной спекания, атмосферной восстановления и экспериментов по методам CVD/CVI, особенно подходят для вакуумного напыления, производства нанопленочных материалов и химического газофазного пропитки углеродно-волокнистых композитных материалов.

Технические параметры:

0Cr27Al7Mo2

Источник питания

AC220V 50Гц/60Гц

Номинальная мощность

4 КВт

Размер трубы

Φ60/80/100*800 мм

Рабочая температура

≤1150°C

Максимальная температура

1200C

Длина зоны постоянного нагрева

100 мм(по индивидуальному заказу)

Точность

±1C

Скорость нагрева

≤20C/мин

Температура

N-тип термопары

Тип уплотнения

Нержавеющая сталь водяное охлаждение KF фланцевая быстрая экструзионная уплотнение

MV2NT

VARIO

предельный вакуум

0.1mabr

Конфигурация

Vacuubrand четырехмембранный насос

Режим измерения

Контроллер вакуума с емкостной керамической мембраной

Трубка вакуумного манометра

Конденсаторный керамический диафрагменный вакуумный манометр

Режим охлаждения

Воздушное охлаждение

Скорость откачки

1 л/с

HQZ-iv

Режим управления

Массовый расходомер CS200 с интерфейсом связи для подключения к компьютеру контроль

Расход

0-500 SCCM /0-1 SLM, (по индивидуальному заказу)

Линейность

±0,5% Ф.Ш.

Точность

±1% Ф.Ш.

Повторяемая точность

±1% от шкалы измерения

Время отклика

≤1 сек

Нулевой дрейф

<0,6% от шкалы измерения

Максимальное давление

3 МПа

Газовый канал

4 канала (по индивидуальному заказу)

Интерфейс

Swagelok Φ6 мм

?

?