Glass and Ceramics Vacuum Evaporation Coating Equipment

Model

ZF-1000

ZF-1200

ZF-1400

ZF-1600

ZF-1800

ZF-2000

Size of vacuum 

chamber

Φ 1000×

H1200mm

Φ 1200×

H1500mm

Φ 1400×

H1600mm

Φ 1600×

H1800mm

Φ 1800×

H2000mm

Φ 2000×

H2200mm

Evaporate rat

10KW

15KW

20KW

20KW

25KW

35KW

Total power

25KW

40KW

60KW

65KW

85KW

95KW

Ultimate vacuum 

8.0×10-4Pa

Structure of Chamber 

Vertical Single/Double Door, Back Vacuum Acquisition System 

Power Supply Type

Pulse Bias Power Supply, Direct Current magnetron power Supply,

 Medium Frequency Magnetron Power Supply 

Pump-out Time

From air to 5.0×10-3Pa≤20min(no-load)

Material of Chamber 

Superior Stainless Steel Chamber 

Vacuum Acquisition 

System 

Diffusion pump or molecular pump+Roots pump+Mechanical 

pump+Holding pump (The specification can be selected according 

customer’s demand) 

Cooling system 

Water-cooling circulatory system,cooling water tower or industrial 

cooling water machine is also needed(which are supplied by demander) 

Rotating Stand 

Rotating Style 

Planetary autorotation and frequency conversion speed regulation

 (controlled and adjustable) 

Control mode 

Automatic and Manual operation modes integrated, PLC touch screen 

Alarm and Protection 

Abnormal conditions like water failure or over-current or over-

voltage disconnection. It can carries out protective measurements

 and has the function of interlock. 

Other Technical 

Parameters 

Water pressure≥0.2MPa; water temperature≤25°C; 

gas pressure0.5-0.8MPa 

Remark

Designed flexible and select the appropriate equipment according to

 demanders’requirements . 

The range of vacuum chamber Φ 0.5-3m, H: 0.5-3m.