Two Zones CSS Furnace for PVD or CSS (Close Spaced Sublimation) film coating

Furnace structure &

 Vacuum Chamber

1.Furnace, two temperature controllers, two channel gas flow meters are integrated into a mobile aluminum alloy frame

2.The chamber is made of high purity fused quartz tube

3.Quartz tube size: 11" OD/10.8" ID x 9" H

4.The vacuum flanges are made of Stainless Steel 316

5.Overall dimension: 850(L)×745(W)×1615(H) mm

Vacuum Flanges

Top Flange with one KFD-25 vacuum port and two gas outlets (1/4" pipe required) can slide up or down manually to load and unload substrate and evaporated material easily

Bottom flange has one KFD-25 vacuum port with right-angle valve and two gas inlets (1/4" pipe required) with needle valves

Flange is sealed by double silicone o-rings and can achieve max. vacuum pressure of 10E-2 Torr by a quality mechanical pump and 10E-5 Torr by molecular pump (vacuum pump is not included, please order separately)

One digital vacuum gauge is installed on the top flange

Gas Flow Meters

Two float-meters are installed on the control panel with measurement range of:

16 -160 mL/m

400 - 4000 mL/m (for purging purpose) 

Heater and Sample Holder

Two shortwave IR lamps as heating elements

The distance between two heaters is adjustable from 10 - 50 mm

The heaters are installed in the water cold jacket to reduce heat radiation and allow for fast cooling

Water cold jacket is made of SS316 with PTFE fitting

3" round wafer holder is built in with top heater to load substrate

One high thermal conductive AlN plate (3"Dia x 0.5mm Thick) is included, which shall put on the back of substrate to make it heated uniformly

One 3" graphite crucible can be put on the bottom heater to load evaporating materials    

Temperature Controller

Two precision digital temperature controllers with 30 segments programmable offer independent controlling of top and bottom heaters

Each controller has PID auto tune function to protect heaters from overshooting and alarm function to avoid overheating and thermal couple broken

PC communication interface & software is installed for (click picture below for details) recording temperature profile shown as below

Working Temperature

• Max. temperature for each heaters: <= 650ºC
• Max. temperature difference between two heaters: <= 300ºC depends on spacing between two heaters:
• Spacing 30mm       Max. temp difference:  315ºC @ heating bottom only
• Spacing 40mm       Max. temp difference:  350ºC @ heating bottom only
• Spacing 50mm       Max. temp difference:  395ºC @ heating bottom only

Thermal Couple

Two K-type thermal couples are installed on top and bottom heaters separately

Working Voltage

208 - 240VAC, single phase, 20A air breaker

Power Requirement

2200W total ( 1100W for each heater )

Warranty

One year limited with life time support