Programmable Multi-function Chemical Vapor Deposition System Used for Graphene Growth Furnace With Vacuum Station And MFC

Slidable Split Tube furnace

· Input power: 208 – 240V AC, 1.2kW
· 1200°C Max. working temperature for < 60 minutes
· 1100°C Max for continuous heating
· High purity quartz tube 2"OD x 1.7"ID x 39.4" Length 
· 30 segments programmable precision digital temperature controller
· 8" (200mm), single zone. 2.3" (60mm) (+/-1°C) @ 1000°C

The following picture shows the

temp. distribution across the heating zone, please click to enlarge.

Plasma RF Generator

· Output Power: 5 -300W adjustable with ± 1% stability
· RF frequency: 13.56 MHz ±0.005% stability
· Reflection Power: 200W max.
· Matching: Automatic
· RF Output Port: 50 Ω, N-type, female
· Noise: <50 dB. 
· Cooling: Air cooling. (water cooling is available upon request, and a water chiller

can be ordered separately)
· Power : 208-240VAC, 50/60Hz

Vacuum Flange and Fittings

· Vacuum flange set is made of stainless steel 304. 
· Left flange assembly includes a KF-25 vacuum port, two KF-25 quick clamp,

a KF-25 right angle valve, a KF-25 vacuum bellows, a flange support 1/4 O.D

hose fitting, and a needle valve.
· Right flange assembly includes a digital pirani gauge, 1/4 O.D tube fitting,

1/4" feedthrough and a needle valve.

Vacuum Pump

· AC 220V 50 Hz 1/2HP 375W
· 2 Liter /S or 120 liter/m 
· Oil trap (inlet) and exhaust filter (outlet) are installed.
· Max. vacuum: 10-2 torr
Option: For precise control of the vacuum pressure, we recommend you choose

our turn-key solution EQ-VPC-MV. This is a vacuum pressure regulating system

with motorized valve and gauge.

It controls pressure range from 10^-6 torr ~ 760 torr.

Product Dimensions

· Overall Dimensions: 1500mm x 600mm x 1200mm (all system, L x W x H)
· Net weight: 350 lbs
· Shipping weight: 480 lbs

Optional

· Please choose below gas delivery systems based on your budget
o Compact Liquid Vaporization Systems
o Three Channels MFC Gas Control System 
o Constant temperature control module

Warranty

· One year limited warranty with lift time support

(Consumable parts such as processing tubes, o-rings and heating elements are not covered

by the warranty, please order the replacement at related products below.)

Compliance

· CE Certified
· Temperature controller is MET and CE Certified

Warning

· The tube furnaces with quartz tube are designed for using under vacuum and low

pressure < 0.12 MPa (absolute pressure) 
· Attention: Due to the high pressure gas output from the gas cylinder,

it is necessary to install the gas pressure regulator with it to reduce the output pressure,

avoid overpressurizing the furnace chamber and ensure a safe operation.